Máquina de revestimento de ferramentas PVD

Do que é composto o sistema de equipamento de revestimento PVD a vácuo? Hoje vamos dar-lhe uma breve introdução.

(1) Bomba principal: No sistema de vácuo, a bomba de vácuo usada para obter o grau de vácuo necessário para atender aos requisitos específicos do processo, como a bomba de difusão de óleo na máquina de revestimento a vácuo, é a bomba principal.

(2) Bomba foreline: uma bomba de vácuo usada para manter a pressão do foreline de uma bomba de vácuo abaixo de sua pressão foreline crítica. Por exemplo, a bomba de palheta rotativa ou válvula de carretel configurada na frente da bomba Roots é a bomba de apoio.

(3) Bomba bruta: uma bomba de vácuo que começa a bombear da pressão atmosférica e bombeia a pressão do sistema para outra bomba de vácuo para começar a funcionar. Por exemplo, a bomba de válvula deslizante na máquina de revestimento a vácuo é a bomba de petróleo bruto.

(4) Bomba de manutenção: No sistema de vácuo, o volume de ar é muito pequeno e a bomba de apoio não pode ser usada de forma eficaz. Para isso, uma bomba auxiliar de menor capacidade é configurada para manter a bomba principal, que é chamada de bomba de manutenção. Por exemplo, uma pequena bomba rotativa de palhetas é equipada na saída da bomba de difusão, que é uma bomba de manutenção.

Na verdade, um sistema de vácuo simples só pode obter um vácuo grosseiro. Quando um alto vácuo é desejado, uma bomba de alto vácuo geralmente é conectada em série no sistema de vácuo. Por exemplo, uma bomba Roots e uma bomba de parafuso são todas bombas que obtêm alto vácuo. Quando uma bomba de alto vácuo é conectada em série, as válvulas são geralmente adicionadas à entrada e saída da bomba de alto vácuo, para que a bomba de alto vácuo possa manter o vácuo sozinha. Se a bomba de alto vácuo conectada em série for uma bomba de difusão de óleo, para evitar que uma grande quantidade de vapor de óleo flua de volta para o recipiente bombeado, geralmente é adicionado um sifão, um defletor de resfriamento de água na entrada da bomba de difusão de óleo . De acordo com os requisitos, coletores de pó, cabeçotes medidores de relé de vácuo, tubos flexíveis de conexão de vácuo, válvulas de liberação de ar de entrada de bomba de vácuo, radiadores, etc. também podem ser adicionados à tubulação, formando assim um sistema de alto vácuo relativamente completo.

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