
Máquina de revestimento PVD
A máquina de revestimento a vácuo é geralmente composta por três partes: câmara de vácuo, unidade de vácuo e gabinete de controle elétrico. Qual é o princípio de funcionamento desta máquina? Vamos dar uma olhada hoje.
A máquina de revestimento a vácuo é geralmente composta por três partes: câmara de vácuo, unidade de vácuo e armário de controle elétrico. Qual é o princípio de funcionamento desta máquina? Vamos dar uma olhada hoje.

1. Corpo principal de vácuo - O tamanho da câmara de vácuo varia de acordo com os requisitos dos produtos processados. Atualmente, os diâmetros mais utilizados são 1,3M, 0,9M, 1,5M, 1,8M, etc. A câmara é feita de aço inoxidável. , não necessitando de ferrugem, solidez, etc., cada parte da câmara de vácuo possui uma válvula de conexão, que é usada para conectar cada bomba de ar.
2. Sistema de exaustão auxiliar: O sistema de exaustão é uma parte importante do sistema de vácuo da máquina de revestimento a vácuo, que é composto principalmente de três partes: uma bomba mecânica, uma bomba de reforço e uma bomba de difusão de óleo. Este sistema de exaustão é composto por "bomba de difusão mais bomba mecânica mais bomba de raízes mais armadilha de frio criogênico mais polifrio". O processo de exaustão é o seguinte: a bomba mecânica primeiro evacua a câmara de vácuo para um estado de baixo vácuo inferior a 2, 0*10-2PA, que fornece a premissa para a evacuação subsequente da bomba de difusão, e então quando a bomba de difusão evacua a câmara de vácuo, a bomba mecânica coopera com A bomba de difusão de óleo é formada em série para completar a ação de bombeamento desta maneira.

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