Máquina de pulverização de zinco quente

Evaporação Térmica e Processo de Evaporação Térmica

A evaporação térmica envolve o aquecimento de um material sólido que será usado para revestir um substrato dentro de uma câmara de alto vácuo até que comece a ferver e evaporar produzindo pressão de vapor. Dentro da câmara de deposição de vácuo, mesmo uma pressão de vapor relativamente baixa é suficiente para levantar uma nuvem de vapor. Este material evaporado agora constitui uma corrente de vapor que o vácuo permite viajar sem reagir ou espalhar contra outros átomos. Atravessa a câmara e atinge o substrato, aderindo a ele como um revestimento ou filme fino.

Existem dois métodos principais de aquecimento do material de origem durante a evaporação térmica. Uma é conhecida como Evaporação de Filamento, pois é conseguida com um simples elemento de aquecimento elétrico ou filamento. A outra fonte de calor comum é um feixe de elétrons ou E-Beam Evaporation, onde um feixe de elétrons é direcionado ao material de origem para evaporá-lo e entrar na fase gasosa.

Os sistemas de evaporação de filme fino podem oferecer as vantagens de taxas de deposição relativamente altas, taxa de tempo real e controle de espessura e (com configuração física adequada) bom controle direcional de fluxo de evaporação para processos como Lift Off para obter revestimentos padronizados diretos.

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