Máquina de revestimento a vácuo máquina de revestimento de vácuo máquina de revestimento de vácuo fabricante de revestimento de vácuo equipamento de limpeza de processo

O material de vácuo deve ser limpo antes do processo de vácuo da máquina de revestimento a vácuo para remover poluentes da superfície da peça de trabalho ou material do sistema; a limpeza superficial das partes da máquina de revestimento de lâmpadas também é necessária, pois as fontes de gás e vapor causadas por poluentes não são apenas não conseguir obter o grau de vácuo necessário. Além disso, devido à presença de contaminantes, também afetará a força e o desempenho de vedação da conexão do componente de vácuo.

Os poluentes da máquina de revestimento a vácuo podem ser definidos como "qualquer tipo de substância ou energia inútil", a máquina de revestimento de íons multi-arco pode ser dividida em sólido, gás e líquido de acordo com o estado físico dos poluentes, eles existem na forma de filme ou granular. Em termos de suas características químicas, pode estar em um estado iônico ou covalente, podendo ser inorgânico ou orgânico.

A superfície do aspirador de vácuo exposto ao ar é mais suscetível à contaminação. Há muitas fontes de contaminação. A contaminação inicial é geralmente parte do processo de formação da própria superfície. Fenômenos de adsorção, reações químicas, processos de lixiviação e secagem, tratamentos mecânicos e processos de difusão e segregação contribuem para o aumento da contaminação superficial de vários componentes. Os tipos mais comuns de contaminantes na superfície dos materiais de vácuo são os seguintes.

(1)Graxa: lubrificantes, fluidos de corte, graxas de vácuo, etc., que estão contaminados durante o processamento, montagem e operação;

(2)À base de água: suor das mãos durante a operação, vapor de água durante a sopração, saliva, etc.;

(3)Óxido de superfície: o óxido de superfície formado pelo material que está sendo colocado no ar ou colocado no ar úmido por um longo tempo;

(4)Substâncias ácidas, alcalinas e salgadas: substâncias residuais durante a limpeza, suor das mãos, minerais na água, etc.;

(5)Resíduo de polimento e poeira e outras matérias orgânicas no ar ambiente.

De acordo com os requisitos, a superfície limpa da máquina de revestimento a vácuo pode ser dividida em duas categorias: superfície limpa de nível atômico e superfície limpa da tecnologia de processo.

O trabalho de limpeza no estágio inicial da máquina de revestimento a vácuo pode reduzir muitos problemas, evitar a ocorrência de muitos pequenos problemas na máquina de revestimento de sputtering controle sputtering, e ter um efeito muito positivo sobre a eficiência do trabalho e a qualidade do revestimento da máquina de revestimento a vácuo. Pode melhorar muito a estabilidade de funcionamento de todas as paredes de vasos e outras superfícies componentes no sistema de vácuo sob várias condições de trabalho. Estas condições de operação incluem: alta temperatura, baixa temperatura, e a emissão e bombardeio de elétrons, íons, fótons ou partículas pesadas.