Características de design do dispositivo de chip de comparação multi-chip da máquina de revestimento a vácuo

1) Cilindro fixo 3 O design de forma cilíndrica, grande diâmetro, estrutura de paredes espessas e método de fixação circunferencialmente simétrico pode garantir resistência e rigidez suficientes e, ao mesmo tempo, também pode impedir que abrasivo de pulverização de alta temperatura contamine suas partes internas , para garantir a flexibilidade da rotação do mostrador 15 .

2) O desenho do assento do mancal circular 2 garante a vedação e verticalidade da instalação do assento do mancal; aumentar o diâmetro do eixo 1, aumentar a distância de instalação entre os dois rolamentos no assento do rolamento 2, melhorar sua própria resistência e rigidez, garantir que a rigidez do eixo 1 e a flexibilidade rotacional do mostrador 15 durante o processo de rotação sejam consistentes com a repetibilidade da posição.

3) Carregando o mecanismo de transposição, expandindo o diâmetro da placa de suporte 16, a área efetiva do mecanismo na direção plana é aumentada, e pode ser instalado um filme comparativo com um grande diâmetro (Φ26,5mm), o que é propício ao ajuste do caminho óptico e melhora a qualidade do filme óptico; A peça de comparação 12 é feita de uma única peça de vidro como unidade de peça de comparação. A peça de comparação adota o método de instalação de empilhamento tridimensional espacial. Várias peças de vidro são empilhadas e instaladas em um cilindro de armazenamento de peças de comparação 13, de modo que 50 ~ 100 peças de peças de comparação podem ser colocadas de cada vez, o que resolve o problema da máquina de revestimento. Revestimento de filmes ópticos de precisão multicamada, em comparação com o problema de que o pequeno número de folhas afeta o número de camadas de revestimento e a precisão.

4) A cooperação da placa de posicionamento 6 e o ​​acoplamento óptico tipo ranhura 17, através do acoplamento óptico tipo ranhura, as três fendas de 120 graus igualmente divididas na placa de posicionamento são detectadas e a rotação do motor é controlada para parar . A consistência da rotação e posicionamento do eixo 1 é garantida para ser repetida, e o mostrador 15 é acionado para completar a ação precisa do mostrador.

5) O mecanismo de alimentação de vedação rotativa é introduzido no mecanismo de vedação Wilson 5, o que não apenas garante que o motor 9 acione a rotação flexível do eixo 1 através do engrenamento de engrenagens, mas também garante o efeito de vedação da câmara de vácuo ao fora. O projeto otimizado do dispositivo de comparação multi-chip da máquina de revestimento a vácuo tem as seguintes características: (1) Estrutura simples, alta resistência e boa confiabilidade; (2) O número de chips de comparação é grande, a eficiência de produção é melhorada e a óptica de precisão ultra multicamada pode ser revestida (3) O diâmetro do filme comparativo é aumentado, a precisão do monitoramento do filme é melhorada, o os requisitos para o sistema de hardware são reduzidos e o sistema é fácil de realizar o controle automático; (4) O custo de manutenção é baixo.

Através do design otimizado do dispositivo de peças de comparação de várias peças da máquina de revestimento a vácuo, a flexibilidade da rotação do mecanismo de peças de comparação e a consistência da repetição são garantidas, e a pequena área efetiva da peça de comparação, o ajuste inconveniente de o caminho óptico e a relação sinal-ruído do sinal óptico são resolvidos. Também resolve o problema de menor carregamento de folhas comparativas, o que pode melhorar muito a qualidade do filme óptico revestido pela máquina de revestimento a vácuo existente, e o filme óptico com mais de 30 camadas pode ser revestido. A prática provou que esta estrutura de folha comparativa é útil e pode ser promovida e implementada na moderna indústria de revestimento a vácuo óptico.